【中国阀门网】公 告 名 称 ： 特种气体供应和监控管理系统等招标公告
招 标 编 号 ： 0730-0640GD041414
加 入 日 期 ： 2006.11.30
截 止 日 期 ： 2006.12.20
招 标 机 构 ： ******************
公 告 类 型 ： 招标公告
所 属 行 业 ： 电子通信;物流运输
地 区 ： 上海市
招标公告
项目名称:0730-0640GD041414/01特种气体供应和监控管理系统(用于4.5GTFT项目的PECVD和干刻机)7种特种气体的供应监控管理系统. 1套0730-0640GD041414/02用于PECVD、干刻机和PVD设备维修的洁净室起重机设备 3套0730-0640GD041414/03紫外清洗机 紫外清洗机:17套UV 照度计：2套0730-0640GD041414/04零部件干燥净化炉
日期：2006年11月30日
招标编号：0730-0640GD041414
****************************受买方委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标。现邀请合格投标人参加投标。
1、招标产品的名称、数量及主要技术参数：
0730-0640GD041414/01 特种气体供应和监控管理系统1套
* 5. 交货日期：合同生效后4~5个月，超过5个月不予考虑。发货前须得到买方通知。出口许可证的办理不得影响交货期。
* 6. 设备用途及基本要求： 合同中定义的特气供应系统包括PECVD和Dry Etch所用的特气(SiH4,NH3,NF3,1%PH3/H2,SF6,Cl2,CF4)供给与分配以及从主设备到泵，泵到腔室抽真空及处理副产物的gas scrubber之间的管道连接。 承建商完成对整个特气系统的设计,安装,调试和第三方认证。要求该设备结构设计合理，采用先进成熟技术，保证系统具有良好的动态品质，在操作过程中操作者的视线要好。所选控制系统执行元件精度高，可靠性好，响应速度快。设备使用、操作、维修方便，造型美观，结构紧凑，整机运行稳定可靠，售后服务优良。
* 7.1 合同里涉及到的设计，制造,设备都必须具备ISO 9000 ，SEMI-S2 或 CE 或其他相关国际标准。
* 7.1.1 安装方法要符合中国国家相关法规要求。
* 7.1.2 供应商必须从主管部门取得系统施工与运行所需要的许可与授权,系统必须符合当地的环境,健康,与安全条例等相关要求.并提交业主确认。
* 7.3.1 供应商的工作范围,设备，材料,制作流程必须满足业主招标文件和IDC(设计院)提供的技术规格书要求。如果两者存有冲突和矛盾,以业主的招标文件为主。招标文件中未描述到的部分都必须遵循IDC技术规格书要求。
* 7.4.1.1 系统必须符合当地环境,健康和安全法规的要求.承包商必须从主管机构获得系统建设和运行所必须的许可和授权。
* 7.4.2.1 设计与其它承包商依据业主提供的特气供应系统规格书负责设计，提交基于Turn Key 方式特气系统详细方案。所有的设计、材料、建造、管理、调试和验收都需满足业主特气供应系统技术规格的要求。
* 7.4.2.2 本包特气种类: SiH4,NH3,NF3,1%PH3/H2,SF6,Cl2,CF4本系统不含有HCL
* 7.4.2.3 特气的区域分布:. BSGS (Y cylinder) * 1 套用于硅烷站. BSGS (Y cylinder) * 1 套用于氨气房. BSGS (Y cylinder) * 1 套氯气储存在腐蚀性气体房. BSGS (Y cylinder) * 1 套NF3储存在腐蚀性气体房. BSGS (Y cylinder) * 1 套SF6储存在惰性气体房. Gas Cabinet (2bottle) * 1 套CF4储存在惰性气体房. 1% PH3/H2 Gas Cabinet (2bottle) *3 套1% PH3/H2储存在易燃性气体房
* 7.4.2.4 .每个气体房内特气供给系统的动力连接 :电，排风，G-N2，自来水，压缩空气…….分配系统的动力连接（VDB(P), VMB(P)） :电，排风，P-N2，G-N2，压缩空气…….控制房的动力连接(GMS) :电……
* 7.4.2.5 特气供应系统(连同VMB)与GMS控制器的UPS
* 7.4.2.6 每个气体房中特气P-N2气瓶架(在每个气瓶房中，每个钢瓶架连接2瓶)
* 7.4.2.7 Sub Fab 里的特气分配系统. VMB for SiH4. VMB for NF3. VMB for NH3. VMB for 1%PH3/H2. VDP and VMP for SF6. VDB and VMB for CL2. VMP for CF4
* 7.4.2.8 特气管线连接(Supply System - VMB): 从气体房的特气供应系统到sub fab的特气分配系统.
* 7.4.2.9 特气管线连接(VMB-Gas Box): 从sub Fab特气分配系统到主设备的Gas Box。
* 7.4.2.10 特气供应系统的排放管线连接1)用Burn tube（包含CDA供应）实现从硅烷站的BSGS到室外硅烷的排放2)从NH3房BSGS到Sub fab尾气处理装置(燃烧型尾气处理装置)的排气管线连接3)从NF3的BSGS到Sub fab尾气处理装置(燃烧型尾气处理装置)的排气管线连接4)从CL2的BSGS到Sub fab尾气处理装置(燃烧型尾气处理装置)的排气管线连接5)从1%PH3/H2的gas cabinet到Sub fab尾气处理装置(燃烧型尾气处理装置)的排气管线连接6)从SF6的BSGS到Sub fab尾气处理装置(燃烧型尾气处理装置)的排气管线连接7) 从CF4的gas cabinet到Sub fab尾气处理装置(燃烧型尾气处理装置)的排气管线连接
* 7.4.2.11 从气瓶架到气体供应系统与分配系统吹扫管线连接
* 7.4.2.12 GMS 包:SCADA,PLCS,程序,存储器,机架,电缆,以太网从Hub和操作系统的控制单元连接到供应商PLCS与服务器。特气系统的PLC要连接到气体检测系统的PLC以便于担当气体的数据汇总存储。在FMCS控制房内提供特气系统的监视点,在FAB里需留一个特气系统控制的监视点。
* 7.4.2.13 规格书中描述的工装夹具说明:提供维护/操作必要的结构平台以及梯子，工装夹具。
* 7.4.2.15 为硅烷站控制器,机械排风,检测和自动关断系统提供不间断电源
* 7.4.2.18.1 PECVD工艺腔室抽气管线（从工艺腔室到泵）：15套
* 7.4.2.18.2 PECVD上、下料腔室抽气管线（从上、下料腔室到泵）：3套
* 7.4.2.18.3 PECVD传输腔室抽气管线（从传输腔室到泵）：3套
* 7.4.2.18.4 PECVD 工艺泵排气管线（从工艺泵到gas scrubber）：15套：包括备份排气连接线：三通阀由业主提供
* 7.4.2.18.5 干刻工艺腔室抽气管线（从工艺腔室到泵）：11套
* 7.4.2.18.6 干刻上、下料腔室抽气管线（从上、下料腔室到泵）：3套
* 7.4.2.18.7 干刻传输腔室抽气管线（从传输腔室到泵）：3套
* 7.4.2.18.8 Dry etch 工艺泵排气管线（从工艺泵到gas scrubber）：11套：包括备份排气连接线：三通阀由承建商提供
* 7.4.2.18.9 光刻线抽气管路连接（从光刻机真空干燥腔室到泵）：5套
* 7.4.2.19 第三方质量控制及认证：提供第三方质量控制及认证，第三方质量控制范围覆盖材料检查，安装的过程及结果确认。第三方可以由业主指定，承包商和第三方共同确定工作计划并提交给业主确认。
* 7.4.3.1.1 认可的气体供应制造商 ：制造商仅限于IDC技术规格书提到的与业主认可的其他制造商
* 7.4.3.1.2 用于气体供应和气体分配系统的材料要求承建商选择材料制造商必须得到业主认可。
* 7.4.3.1.7 由SCADA控制的自动关断
* 7.4.3.1.11 He泄漏率必须<10-9 atm·cm3/sec，销售商必须提交专门的技术规格
* 7.4.3.1.18 气瓶柜及BSGS具有密码防护功能
* 7.4.3.2.1 气柜的类型：全自动功能的系统
* 7.4.3.2.2 Cylinder参数：445L Y-Cylinder
* 7.4.3.2.3 Cylinder 数量: 1×1
* 7.4.3.2.4 自动切换功能
* 7.4.3.2.5 自动purge 功能
* 7.4.3.2.6 排风功能
* 7.4.3.2.7 自动切断功能阀
* 7.4.3.2.8 EMO/自动关断
* 7.4.3.2.9 高、低压报警
* 7.4.3.2.16 PLC控制
* 7.4.3.2.17 触摸屏操作
* 7.4.3.2.18 CTRL通讯外接端口
* 7.4.3.3.1 喷淋头
* 7.4.3.3.2 高温感应
* 7.4.3.3.3 高压测试
* 7.4.3.3.4 烟感传感器
* 7.4.3.3.5 UV/IR传感器
* 7.4.3.3.6 溢流阀
* 7.4.3.4.3 溢流阀
* 7.4.3.5.2 烟感传感器
* 7.4.3.5.3 溢流阀
* 7.4.3.6.2 溢流阀
* 7.4.3.8.1 Cabinet的类型：全自动
* 7.4.3.8.2 Cylinder的参数：47 Cylinder
* 7.4.3.8.3 Cylinder 数量: 1×1
* 7.4.3.8.4 自动切换功能
* 7.4.3.8.5 自动purge功能
* 7.4.3.8.6 排气功能
* 7.4.3.8.7 阀门自动关断功能
* 7.4.3.8.8 EMO/自动关断
* 7.4.3.8.9 高压、低压报警
* 7.4.3.8.23 PLC控制
* 7.4.3.8.24 触摸屏的操作
* 7.4.3.8.25 CTRL的通讯输出口
* 7.4.3.9.1 Cylinder 数量 : 2 瓶 * 3 Cabinet
* 7.4.3.9.2 喷淋头
* 7.4.3.9.3 高温感应
* 7.4.3.9.4 高压测试
* 7.4.3.9.5 烟感传感器
* 7.4.3.9.6 UV/IR传感器
* 7.4.3.9.7 溢流阀
* 7.4.3.10.1 Cylinder 数量 : 2 瓶 * 1 Cabinet
* 7.4.4.1.4 在VMB内每一个分支具备两个隔离阀，并在这两个阀之间接入purge gas的管路，仅限于4种气体(SiH4, NH3, Cl2, NF3)
* 7.4.4.1.5 有purge管线
* 7.4.4.1.6 EMO/自动关闭
* 7.4.4.1.10 在VMB中的压力传感器或者压力表的信号能够被送入SCADA系统
* 7.4.4.2.1 数量：1套4端口的
* 7.4.4.3.1 数量：1套4端口
* 7.4.4.4.2 对于类型的最低要求：半自动
* 7.4.4.5.1 数量：1套4端口
* 7.4.4.5.2 类型的最低要求：半自动
* 7.4.4.6.1 数量：1套4端口
* 7.4.4.6.2 类型的最低要求：半自动
* 7.4.4.7.3 类型的最低要求：半自动
* 7.4.4.9.1 数量：1套4端口，2套6端口
* 7.4.4.9.2 类型的最低要求：半自动
* 7.4.4.10.1 数量：1套4端口
* 7.4.4.10.2 类型的最低要求：半自动
* 7.4.5.1.1 材料：SS316L EP (Vim/Var)
* 7.4.5.1.2 SiH4, Cl2, 1%PH3/H2用的管道为双重同轴管
* 7.4.5.1.3 SiH4 和 1%PH3/H2用限流孔承包商要提交计算数据和方法
* 7.4.5.1.4 SiH4 ,NH3, NF3要使用buffer tube
* 7.4.5.2.2 内层管道材料：SS316L EP (Vim/Var)
* 7.4.5.2.3 外层管道材料：SS316 级以上
* 7.4.5.2.6 限流孔：提供基于最后流量要求的详细设计
* 7.4.5.3.2 管道材料：SS316L EP (Vim/Var)
* 7.4.5.4.2 管道材料：SS316L EP (Vim/Var)
* 7.4.5.5.1 双重同轴管道
* 7.4.5.5.2 内层管道材料：SS316L EP (Vim/Var)
* 7.4.5.5.5 限流孔：提供基于最后流量要求的详细设计
* 7.4.5.6.2 管道材料：SS316L EP (Vim/Var)
* 7.4.5.7.1 双重同轴管道
* 7.4.5.7.2 内层管道材料：SS316L EP (Vim/Var)
* 7.4.5.7.3 外层管道材料：SS316AP 级以上
* 7.4.5.8.2 管道材料：SS316L EP (Vim/Var)
* 7.4.6.1 供应气体种类：NH3 ,NF3,1%PH3/H2, Cl2, SF6,CF4
* 7.4.6.2 配管材料：SS316L AP or EP 级别
* 7.4.6.5.3 具有CDA供应的Burn Tube: ≥ 2 inch
* 7.4.10.2.1 PECVD工艺腔室抽气管线
* 7.4.10.2.1.1 数量：15套
* 7.4.10.2.1.2 尺寸：ISO160->NW100 主抽气管线尺寸：160￠
* 7.4.10.2.1.3 材料：SS316AP或更高级别，SCH10 or SCH5 如果承建商采用SCH5 有问题，应该更换为SCH10
* 7.4.10.2.1.5 泄漏检查端口：NW25，在接近干泵出口处设置手动阀
* 7.4.10.2.2 PECVD上、下料腔室抽气管线
* 7.4.10.2.2.1 数量：3套
* 7.4.10.2.2.2 尺寸：ISO80->NW80 主抽气管道尺寸：80￠
* 7.4.10.2.2.3 材料：SS316AP或更高级别，SCH10 or SCH5 如果承建商采用SCH5 有问题，应该更换为SCH10
* 7.4.10.2.2.5 泄露检查端口：NW25，在接近干泵出口处设置手动阀
* 7.4.10.2.3 PECVD传输腔室抽气管线
* 7.4.10.2.3.1 数量：3套
* 7.4.10.2.3.2 尺寸：ISO80->NW80 主抽气管线尺寸：80￠
* 7.4.10.2.3.3 材料：SS316AP或更高级别，SCH10 或 SCH5如果承建商使用SCH5时有问题，必须更换成SCH10
* 7.4.10.2.3.5 检漏口：NW25，在真空干泵附近设置手动阀
* 7.4.10.2.4 PECVD工艺泵的排气管线（从工艺泵到尾气处理装置）
* 7.4.10.2.4.1 数量：15套
* 7.4.10.2.4.3 材料：SS316AP级以上，SCH10 或 SCH5
* 7.4.10.2.4.6 备份用三通阀：由业主提供承建商负责安装业主提供的三通阀
* 7.4.10.2.5 干刻工艺泵的排风管线（从PM到Pump）
* 7.4.10.2.5.1 数量：11套
* 7.4.10.2.5.2 尺寸：NW40->NW50主抽风管线尺寸：50￠
* 7.4.10.2.5.3 材料：SS316AP及以上级别，SCH10或SCH5如果承建商使用SCH5时有问题，必须更换成SCH10
* 7.4.10.2.5.5 检漏口：NW25，在真空干泵附近设置手动阀
* 7.4.10.2.6 用于上下料腔的干刻排风管线（从LL到泵）
* 7.4.10.2.6.1 数量：3套
* 7.4.10.2.6.2 尺寸：NW100->NW80 主排风管线尺寸：100￠
* 7.4.10.2.6.3 材料：SS316AP及以上级别，SCH10或SCH5如果承建商使用SCH5时出现问题，必须更换成SCH10
* 7.4.10.2.6.5 检漏口：NW25，在真空干泵附近设置手动阀
* 7.4.10.2.7 用于传送室的干刻排气管线（从TM到泵）
* 7.4.10.2.7.1 数量：3套
* 7.4.10.2.7.2 尺寸：NW100->NW80 主排风管线尺寸：100￠
* 7.4.10.2.7.3 材料：SS316AP及以上，SCH10或SCH5如果承建商使用SCH5时出现问题，必须更换成SCH10
* 7.4.10.2.7.5 检漏口：NW25，在真空干泵附近设置手动阀
* 7.4.10.2.8 干刻真空泵排风管线(从干刻真空泵到SCRUBBER的连接)
* 7.4.10.2.8.1 数量:11套
* 7.4.10.2.8.2 尺寸: NW40->NW50 真空泵主管线尺寸: 50￠
* 7.4.10.2.8.3 材料: SS316AP级别以上, SCH10 or SCH5
* 7.4.10.2.8.6 备份用管路三通阀*11套承建商负责提供三通阀
* 7.4.10.2.9 PHOTO线真空泵的配管连接(从PHOTO线真空腔体到真空泵)
* 7.4.10.2.9.1 数量:5个
* 7.4.10.2.9.2 尺寸: NW100->NW100真空泵的主管尺寸: 100￠
* 7.4.10.2.9.3 材料: 材料: SS316AP级别以上, SCH10 或者 SCH5如果承建商在使用SCH5时有问题.必须把材料更换为SCH10
* 7.4.10.2.9.5 泄漏检查端口: NW25具有靠近真空干泵的手动阀
* 7.4.10.1.12 承包商提供管道材料和炉号的复印件
* 7.4.10.2.4 承包商要提交管道材料认证和熔炼炉号的复印件
* 7.4.10.2.5 保质期: > 1 年
* 7.5.1 它必须符合高压气体安全标准和国家法规
0730-0660GD041414/02 用于PECVD、干刻机和PVD设备维修的洁净室起重机设备 3套
* 5. 交货期：合同生效后4~5个月，超过5个月不予考虑。办理出口许可证不得影响交货期.
* 7.1 设备设计和制造应符合ISO9001或CE相关国际标准
* 7.3.1 洁净室起重机支撑的类型：高架悬吊型
* 7.3.2 最大的承受力：2吨
* 7.3.3 洁净度：<1000级
* 7.3.4.1 PECVD工作区域：>6350mm*18500mm
* 7.3.4.2 干刻机工作区域：>5000mm*20430mm
* 7.3.4.3 PVD工作区域：>7000mm*40000mm
* 7.3.5.1 PECVD升降的工作高度：>2700mm ，基于FAB 的高度（地面到天花板）4.5m
* 7.3.5.2 干刻机升降的工作高度：> 2640mm，基于FAB 的高度（地面到天花板）4.5m
* 7.3.5.3 PVD的升降的工作高度：>3600mm，基于FAB 的高度（地面到天花板）4.5m
* 7.3.6 在普通型、Telescope型、Repost型和Shuttle型这四种型号中，由制造商来决定使用哪种起重机的型号，但是需满足业主设计图的正常的维修和工作
* 7.3.7 供应商从主管部门取得系统施工与运行所需要的许可与授权,系统符合当地的环境,健康,与安全条例.并提交业主确认。
* 7.4.2.4 导轨的材料：SUS304
* 7.4.2.8 主要滚轴的材料（滚轮）：MC尼龙（MC901）
* 7.4.3.1 导轨的材料：SUS304
* 7.4.3.5 主要滚轴的材料（滚轮）：MC尼龙（MC901）
* 7.4.4.1 升降方式：链条或金属线类型
* 7.4.4.8 吊钩的类型：客户要求的J型或I（环）型
* 7.4.4.9 普通的刹车（电源切断后可以自动刹车）
* 7.5.5 保修期：.升降机：>1年.起重机的构架：>5年
* 7.5.9 在安装后制造商应该对安全认证负责
* 8.1.4 提供设备保修期后运行1年所必需的备品备件及易损件。这些备品备件的费用至少要超过总价的1%
0730- 0640GD041414/03 紫外清洗机 紫外清洗机:17套 UV 照度计：2套
* 5. 交货期：合同生效后3.5月，超过4个月不予考虑。办理出口许可证不得影响交货期.
* 7.3.1.2 基板尺寸： 730mm ×920mm
* 7.3.1.4 设备适用于0.5 ~0.7 mm厚度玻璃
* 7. 3.1.6 传送测试: 连续传送1000片基板：无划伤，破损。
* 7.3.1.10 灯寿命末期的接触角：≤5°(条件：1、初始接触角 35°2、传送速度 3m/min)
* 7.4.1.1 系统最大尺寸(W x L x H)≤1500mm x 670mm x 331mm条件：传送速度 3 m/min设备外形尺寸必须满足主设备的要求。
* 7.4.1.4 具有自动紫外光强监视系统
* 7.4.1.5 EXCIMER UV方式：UV灯直射型或带有石英窗型（如果采用带石英窗型的，需免费另附带17块石英窗作为备件）
* 7.4.1.11 灯座：有一个备份灯座[在满足灯寿命末期的接触角：≤5°(条件：1、初始接触角 35°2、传送速度 3m/min)的情况下]
0730-0640GD041414/04 零部件干燥净化炉和面板测试净化炉零部件干燥净化炉：壹（1）套面板测试净化炉：叁（3）套
* 5. 交货日期：合同生效后4个月，超过4.5个月将导致废标。发货前须得到买方通知。出口许可证的办理不得影响交货期。
* 7.3.1.1 腔体内部尺寸：W/D/H=1400mm/1400mm/1500mm
* 7.3.1.2 温度范围：RT~150℃
* 7.3.1.4 加热上升时间：≤10分钟（从环境温度到100℃）
* 7.3.2.1 腔体内部尺寸：W/D/H=1000mm/1000mm/1500mm
* 7.3.2.2 温度范围：RT~150℃
* 7.3.2.4 加热上升时间：≤10分钟（从环境温度到100℃）
* 7.4.1.1 腔体净化等级：class 100（根据ISO标准）
* 7.4.1.6 高效过滤器：0.3μm, 99,97%.用于对腔体内热循环风过滤。
0730-0640GD041414/05 场发射扫描电子显微镜和聚焦离子束系统场发射扫描电子显微镜：1套聚焦离子束系统：1套
* 5. 交货日期：合同生效后4个月，超过4.5个月将导致废标。发货前须得到买方通知。出口许可证的办理不得影响交货期。
* 7.3.1.1 解析度：≤1.0nm (15kv), 1.8nm(1kv).
* 7.3.1.2 放大倍率：×25 to ×200,000.
* 7.3.2.2 放大倍率：×150 ~×100,000.
* 7.4.1.1 电子枪：场发射枪。
* 7.4.1.8 样品台马达控制: 5 轴
* 7.4.1.13 EDX 侦测器(Horiba 或 Oxford)1. 侦测器元素: 硅(锂)半导体2.有效侦测面积: 10mm23.解析度(FWHM): 133eV4. 侦测元素范围: Be4~U925.线和格: 具备6.光谱构成: 具备7.相分析: 具备8.液氮容量: ≥7.5L
* 7.4.2.11 样品台马达驱动: 5轴
0730－0640GD041414/06 排气风机（玻璃钢离心式）8套
* 5. 交货期：合同生效后3.5个月，超过4个月不予考虑。发货以买方通知为准。出口许可证的办理不得影响交货期。
* 7.1.1 数量：两套
* 7.1.3 类型：玻璃钢离心式
* 7.1.4 符合AMCA认证
* 7.1.5.1 风量：不小于48000cmh
* 7.1.5.2 静压：不小于2800Pa
* 7.1.5.13 驱动类型：直联
* 7.1.6.5 控制方式：变频控制
* 7.1.7.3 联轴器：含
* 7.2.1 数量：两套
* 7.2.3 类型：玻璃钢离心式
* 7.2.4 符合AMCA认证
* 7.2.5.1 风量：不小于43000cmh
* 7.2.5.2 静压：不小于2800Pa
* 7.2.5.13 驱动类型：直联
* 7.2.6.5 控制方式：变频控制
* 7.2.7.3 联轴器：含
* 7.3.1 数量：两套
* 7.3.3 类型：玻璃钢离心式
* 7.3.4 符合AMCA认证
* 7.3.5.1 风量：不小于6000cmh
* 7.3.5.2 静压：不小于2600Pa
* 7.3.5.13 驱动类型：直联
* 7.3.6.5 控制方式：变频控制
* 7.3.7.2 联轴器：含
* 7.4.1 数量：两套
* 7.4.3 类型：玻璃钢离心式
* 7.4.4 符合AMCA认证
* 7.4.5.1 风量：不小于4000cmh
* 7.4.5.2 静压：不小于3000Pa
* 7.4.5.13 驱动类型：直联
* 7.4.6.5 控制方式：变频控制
* 7.4.7.2 联轴器：含
2、招标文件售价：0730-0640GD041414/01人民币3000.00元, 0730-0640GD041414/02人民币2000.00元, 0730-0640GD041414/03人民币2200.00元,0730-0640GD041414/04人民币1000.00元, 0730-0640GD041414/05人民币2400.00元, 0730-0640GD041414/06人民币1000.00元
3、购买招标文件时间：即日起至投标截止时间止，每天09:00-16:00，节假日除外
4、购买招标文件地点：******************************
5、投标截止时间和开标时间：2006-12-20 11:00:00
6、开标地点：待定
(来源：中国国际招标网)
