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【中国阀门网】 应用：太阳能光电产业PECVD设备 外观尺寸：1697(H)*1980(W)*346(T) 阀口尺寸：1400mm*300mm 阀体材质： SUS304 阀门重量：1300 kg 真空密封方式：使用密封圈（X-ring）封合 驱动方式：双汽缸做动(缸径150mm) 汽缸做动压力：5~8kg/c㎡ 做動行程：380mm 开关时间：10sec/open,10sec/close 使用真空度：10-6~10-7Torr 漏率：5*10-8torr*L/S 最大压差：20torr 使用寿命：50000次(密封圈） (来源：日扬科技股份有限公司) |
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